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按照工作原理的区别对废气设备进行分类，可大致分为四种：
第一种是废气处理吸收设备。它主要是利用一些不容易进行挥发的溶液对废气进 行吸收并且进行分离的工作方法，对于这种设备可以进行回收再利用，所以它具有环保的功能。
第二种是废气处理吸附设备。它主要是利用多孔物质对废气进行吸附 并且使其进行脱落的过程，它的运行过程可以进行反复的操作，所以它的净化废气的效果比较明显。
第三种是废气处理氧化催化设备。这种方法主要采用的是对这 些废气进行氧化还原反应，最终生成水和二氧化碳，臭氧氧化处理工艺属于此类，其原理是利用臭氧发生器产生足量的臭氧（氧化性极强）注入反应室与废气分子发生反应，最终产生无害无臭的物质排出。
第四种是废气处理低温等离子设备。它主要运用的原 理是在低温的环境下对废气进行分离的过程。
