小蔡
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来源：科技在前方
文|科技在前方
大家应该都知道，在全球光刻机制造领域，荷兰巨头ASML垄断全球多年。所以无论是台积电还是三星，想要继续深耕芯片制造高精度工艺，就必须从ASML处抢购高端EUV光刻机。
但芯片制造是一项非常复杂的工作，一颗芯片要想从PPT到成品，核心设备并非光刻机一种，刻蚀机的重要性也不容小觑。可能大部分分不清，光刻机和刻蚀机的区别，简单地讲，光刻机把电路图投影到覆盖有光刻胶的硅片上面，刻蚀机则是将画了电路图的硅片上的多余电路图腐蚀掉。
打个比方，如果光刻机是照相机，那么刻蚀机就是显影设备。由此可见，芯片在制造过程中，刻蚀机的作用并不次于光刻机。虽说在半导体设备领域当中，中国光刻机的技术水准相比海外要晚好几代，但目前刻蚀机是我国最具有优势的半导体设备领域。数据显示，我国蚀刻设备的国产化率已经达到20%以上，而且国产蚀刻机的市场规模也在随着中国半导体市场规模的扩张不断提升。
不仅如此，全球第一家成功研制出5nm精度刻蚀机的企业就是中微半导体，该公司的刻蚀机已经通过台积电验证，将被应用于台积电5nm生产线。除此之外，联华电子、SK海力士等行业巨头也是中微半导体的客户。如果说中微半导体打破国外技术垄断是中国刻蚀机的龙头企业，那么接下来这家国产刻蚀机企业也正在崛起。
根据3月5日媒体报道，中国刻蚀机企业北方华创正式官宣，该公司所有半导体设备都是100%自主研发，成功打破了海外企业在关键设备上的市场垄断。虽然北方华创平时在市场上并没有太高的知名度，但在国内半导体行业却是发挥着举足轻重的作用。
去年12月份，北方华创还曾公开表态，ICP等离子刻蚀机交付突破1000腔。这种刻蚀机对实现客户端28nm国产化替代，并在14nm、7nm SADP/SAQP、先进存储器、3D TSV等工艺应用中发挥着重要作用。
据悉，北方华创的主要产品包括刻蚀机、PVD、CVD、ALD、清洗机、立式炉、外延炉等，其中刻蚀设备已经覆盖集成电路、LED、先进封装、功率半导体、MEMS微机电系统、化合物半导体、硅基微显、分析仪器、功率器件、光通信器件等多个领域，硅刻蚀机已突破14nm技术，进入主流芯片代工厂。
值得一提的是，在LED领域，北方华创的蚀刻机、PVD以及CVD设备全球出货第一，LED芯片国产替代率超过90%。由此来看，北方华创对中国芯片产业的发展非常重要。或许正是北方华创的半导体设备种类丰富，才能成为中国半导体产业的重要支柱，才能在近两年时间里公司的营收和利润屡创新高。
根据北方华创2020年的业绩报告显示，北方华创的净利润为4.6亿元-5.8亿元，同比增长48.85%-87.68%。北方华创之所以能取得这样的成绩，一方面是公司下游业务需求旺盛，且复工复产比较早；另一方面得益于中国半导体市场的良好前景，北方华创不断扩大产能增加竞争优势。
总之，中国半导体产业要想长足发展，就必须加强整个产业链的研发，这其中就包括光刻机、刻蚀机、EDA软件等。正所谓，千里之行始于足下，相信用不了三五年中国半导体产业将焕然一新。
