小蔡
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来源：中关村在线
现如今，荷兰ASML是整个半导体行业最为重要的公司，因为其生产的EUV光刻机，是7nm、5nm制程节点最为基础的设备，没有它，就无法制造PC、手机芯片，这些设备也就无法正常运行。
熟悉光刻机的朋友一定知道，这种设备价格昂贵，且生产制造周期非常长。那么它为何又贵又难产呢？
ASML官方近日披露了一些细节。EUV即极紫外光刻，它是借助13.5nm波长极紫外光在硅晶圆上蚀刻数十亿规模的微缩结构。一台EUV光刻机的售价高达1.2亿美元，之所以价格这么贵，是因为它内部的精密部件就超过了10万个。而且，EUV光刻机从下单到最终成品送货的周期长达2年，运送一台光刻机所需要的集装箱多达40个。这也是为什么EUV光刻机如此昂贵的原因。
目前，世界上第一台EUV光刻机是2010年在三星装配，第二台于2011年进驻台积电。
