回复科技观察：高温压力传感器是工业实践中最为常用的一种压力变送器
科技观察
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SOS高温压力传感器通常是将在作为弹性体的蓝宝石上异质外延生长单晶硅薄膜作为敏感膜片，为双膜片结构。该传感器具有非线性小、耐高温、耐腐蚀、量程大的特点。 其工作原理如下所示。 为克服高温对传感器的影响，该传感器核心敏感元件为双膜片结构:钛合金膜片和蓝宝石膜片。蓝宝石膜片通过熔焊工艺固定在钛合金膜片上。在蓝宝石衬底上，通过异质外延工艺生长出一层单晶硅薄膜，再利用半导体扩散工艺在硅薄膜上加工出硅应变电阻，由硅电阻组成电阻桥。蓝宝石由单晶绝缘体元素组成，不会发生滞后、疲劳和蠕变现象;同时具有非常好的弹性和绝缘特性(1000℃以内)，对温度变化不敏感，即使在高温条件下也有很好工作特性，因此可应用于各种恶劣高温的环境。
