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自1958年第一块集成电路诞生以来,以集成电路为核心的微电子技术被认为是信息社会发展的驱动器。微电子产业已经超过诸多传统产业,发展成为全球经济增长的支柱产业,越来越多的国家开始重视其相关技术的发展。近年来,我国微电子技术发展迅速,涌现出以中芯国际、海思半导体、新潮科技等为代表的一批集成电路制造、设计与封测企业。 当前,微电子发展正处于理论技术变革迅猛的重要时期,延续摩尔定律(more moore)和超越摩尔定律(more than moore)是其发展的两个重要方面。一方面,为了延续摩尔定律,解决纳米尺度器件面临的短沟道效应、高泄漏电流和60mV/dec的亚阈值摆幅限制等问题,以FinFET技术为标志的后摩尔时代新器件技术已经到来。