回复微观人：2023年这些趋势正在进行中，并可能成为未来至少5年来的发展方向。
微观人
下载贤集网APP入驻自媒体
纳米科学技术的进步及其与微加工技术的结合推动了微纳传感器的发展，传感技术与集成电路、无线通信、信息处理等技术交叉融合促进了无线传感器网络和物联网的兴起。人工智能技术的发展，有望进一步推动智能感知和智能控制技术的进步。智能传感器的发展呈现以下趋势： （１）从单一的物理感知发展到全方位感知。传感器从物理传感器发展到光传感，再到生化传感器，并与人工智能等信息技术深度融合，形成智能传感系统。 （２）微纳传感器从中低精度向高精度发展。随着技术的进步，近年来惯性传感器等微纳传感器从中低精度向高精度、高附加值发展。 （３）微纳制造技术进一步发展。加工特征尺寸和精度从微米向纳米发展，逐步趋近于集成电路的加工尺度，结构上将从单层准三维结构向多层复杂三维结构发展。 （４）集成化芯片系统更加受到重视。进入21世纪以来，集成化芯片系统，不仅可以大大降低系统的体积和功耗，还可以提高系统的性能与可靠性，已经成为微电子领域和传感器领域的热门方向，也是世界各国争相发展的重要战略方向之一。
