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阿斯麦在第二季度财报中提到，第一台全新极紫外光EUV光刻机目前已经完成交付，比起上一代的EUV光刻机，这款产品的机型，生产力提高了15%~20%，精度更是直接提升了30%。 目前三星台积电的工艺都已经达到了5纳米以及7纳米，而这台光刻机应该会交到这两家代工厂其中的一家。
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