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据梁孟松透露,目前中芯国际的“28nm、14nm、12nm及N+1等技术均已进入规模量产,7nm技术的开发也已经完成,明年四月就可以马上进入风险量产。 5nm和3nm的最关键、也是最艰巨的8大项技术也已经有序展开, 只待EUV光刻机的到来,就可以进入全面开发阶段”。 当然,7工艺以下的先进工艺现在还只是技术研发,没法量产,因为缺少关键的EUV光刻机设备。 目前中芯国际已经完成了14nm工艺1.5万片晶圆/月的产能建设目标,接下来的重点是N+1、N+2代工艺,尽管官方一直没有透露具体多少,不过业界认为N+1工艺大概是8到10nm节点,N+2工艺则是7nm节点。 N+1工艺已经风险试产,今年下半年量产,N+2工艺则会在明年量产,也就是说国产7nm工艺最快明年见到。