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被称为大基金的国家集成电路产业投资基金二期已经到位,总规模超过2000亿元,这一轮投资重点是半导体设备及材料,国产光刻胶公司南大光电日前获得1.83亿投资,该公司研发的新一代ArF光刻胶有望用于14/7nm工艺。 南大光电公告称,为加快光刻胶事业发展,公司控股子公司宁波南大光电拟通过增资扩股方式引入战略投资者国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司(“大基金二期”)。
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