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投资13.5亿元!年产15万片碳化硅项目在铜陵开工

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8月1日,安徽微芯长江半导体材料有限公司SiC单晶衬底研发及产业化项目主体工程封顶。项目投资13.50亿元,占地100亩,新建厂房建筑使用面积3.2万平,包括碳化硅晶体生长车间、晶圆加工车间、研发中心、动力厂房、辅助用厂房等。

据悉,项目落户铜陵经济开发区后,仅用50天就开始动工兴建。项目以4英寸、6英寸工艺兼容的自动化产线为实施要点,建设工期4年,从2020年10月起至2024年10月止,计划2021年3季度完成厂房建设和设备安装调试,2021年12月底完成中试并开始试销。达成后预计年产4英寸碳化硅晶圆片3万片、6英寸12万片。

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