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薄膜沉积设备成为横亘在第三代半导体厂商面前的一道难题

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在全球半导体产能紧张的局势下,新开设或扩建的产线正在迅速拉升半导体设备的市场需求。以薄膜沉积这一必不可少的制造环节为例,在新产线的设备投资中,薄膜沉积设备占据了约25%的支出比重,是半导体设备市场增量中不可忽视的一环。因此,如何选择薄膜沉积设备、使之匹配不断发展的宽禁带半导体制造工艺需求,是横亘在众多第三代半导体厂商面前的一道难题。

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