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近日，北京经开区企业北京科翰龙装备技术股份有限公司（简称“科翰龙”）自主研发的晶圆打码机WM-SC800R通过验收。消息称，这是国内首台通过FAB厂验收的具有自主知识产权的晶圆(Wafer)ID打码设备。WM-SC800R在激光器的选用、光路的设计、晶圆定位的方法、设备结构设计以及设备的整体控制及软件编程上都是科翰龙研发的。
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