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阿斯麦的新一代EUV光刻机：造价1.5亿美元 公共汽车大小，整台机器包含10万个部件和2公里长的电缆。每台机器发货需要40个集装箱、3架货机或者20辆卡车。造好的组件将于2021年底运往荷兰维荷芬，然后在2022年初安装到新一代极紫外光刻机的第一台原型机中。 英特尔可能会使用新一代EUV光刻机制造出第一批芯片。其前所未有的精度可以让芯片上的元件尺寸在未来几年继续缩小，有望让芯片制造行业沿着摩尔定律至少再走上10年时间。
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