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9月17日，北京华卓精科科技股份有限公司于科创板成功过会。公司主营业务为超精密测控设备，产品包括精密运动系统、光刻机双工件台模块等，主要应用于集成电路制造、超精密制造、光学、医疗等行业。 光刻机工件台是光刻机的3大核心部件之一，华卓精科是国内首家自主研发并实现光刻机双工件台商业化生产的企业，也是国内光刻机龙头上海微电子的供应商。
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