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近段时间大家对芯片制造设备光刻机情有独钟,有关它的信息也连续不断。如果能拥有一台高端的光刻机,我们就能制造出高端芯片吗?芯片制造的核心设备有哪些? 氧化扩散机,薄膜沉积设备,光刻机,涂胶显影机,刻蚀机,离子注入机,CMP抛光设备,检测设备,总共是八大设备。 除此之外,还有一个清洗机,贯穿多个工序,不清洗是没办法进入下一环节的,因此总共是九大核心设备。 在绝大多数核心设备领域,中国都已经取得了重大技术突破。
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