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1、离子注入机,凯世通公司的离子注入机实现从0到1的突破,2021上半年首台大束流离子注入机交付客户,并确认收入。下半年一台低能大束流重金属离子注入机一台低能大束流超低温离子注入机已经交付客户,尚未确认收入。 2、涂胶显影机,芯原微公司的涂胶显影机在中芯绍兴工厂实现了0的突破。这个非常难,因为涂胶显影机的认证时间长达一年,而且这个期间需要光刻机的高度配合,也就是说芯片厂家的光刻机需要停工一年来专门配合认证。 目前芯片制造设备中,比较重要的就只剩光刻机还没有突破了,相信今年2022或者最晚2023就能看到突破了。