设计一个真空度为10-5次方pa的高真空系统,需要哪些真空泵?
胡辣汤
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针对于10^-6Pa级别的真空度通常采用分子泵配合前置机械泵，针对于更高真空要求则需采用吸附泵和离子泵。机械泵和分子泵都是通过将腔体内部空气抽到外界达到真空的。而吸附泵和离子泵则与他们二者不同，这两种泵都是通过气体吸附的方式降低腔体中游离的空气分子。原则上讲空气并没有跑到腔外，只是被束缚住了。所以为了防止这两种泵吸气能力饱和，我们一般要利用分子泵达到高真空后，再启动它们。 吸附泵原理比较简单，多采用活性炭或者活泼金属来吸附腔内的空气分子。而离子泵则是通过高压放电，将空气电离，然后电离的空气会经过电场、磁场作用吸附在由金属钛构成的阴极板上。加上这二者的帮助，我们可以达到10-9Pa的真空，这已经是一个大气压的一百万亿分之一。这已经达到了超高真空的范畴，足以满足大多数科学实验的要求了。
