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最近，加州大学伯克利分校的研究人员发表了一篇新的研究论文，描述了一种基于 MEMS 的新型 FPSA LiDAR 系统，该系统声称其性能指标令人印象深刻。 为了回避 FSPA LiDAR 中的热挑战，研究人员选择使用 MEMS 开关而不是热光开关。 在该方案中，FSPA 阵列通过以正确方向物理移动波导来选择给定像素，将所有激光入射光引导至给定像素的天线。该芯片可以通过切换整个阵列对其环境进行 360 度扫描。 总而言之，研究人员声称这种新方法对 FPSA LiDAR 技术的好处是巨大的，因为 MEMS 开关比热光开关更轻、更小，而且功耗更低。 由此产生的设备在 1 平方厘米的固态芯片上创建了 128x128 像素阵列。研究人员声称，该芯片上的 16,348 像素远远超过了之前达到的最大数量，使其成为市场上分辨率最高的固态 FPSA 芯片。
