检测大兵
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这是来自日本一家顶级光学设计咨询公司Akira Yabe提供的ArF光刻镜头的灵敏度控制的案例。这是套数值孔径0.85的设计，总轨迹1250毫米。 令人印象深刻的是：该公司的创始人Akira Yabe在长达30余年的世界里，一直参加每四年举行一次国际光学设计大会组织的设计公开挑战，并长期名列前茅。 Akira Yabe发表了十余篇光学设计论文，而这些理论和实践的积累，促成了他设计了自己的光学设计软件。而上述ArF光刻镜头的设计便是来自该公司的光学设计软件的优化结果。
