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清华大学成功制备1纳米栅极长的晶体管

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近日,清华大学集成电路学院教授任天令团队在小尺寸晶体管研究方面取得突破,首次制备出亚1纳米栅极长度的晶体管,其具有良好的电学性能。相关成果发表在最新一期《自然》杂志在线版上。

目前主流工业界晶体管的栅极尺寸在12纳米以上。为进一步突破1纳米以下栅长晶体管的瓶颈,任天令团队巧妙利用石墨烯薄膜超薄的单原子层厚度和优异的导电性能,将其作为栅极,通过石墨烯侧向电场来控制垂直的二硫化钼(MoS2)沟道的开关,从而实现等效的物理栅长为0.34纳米。

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