玮庭 新一代有很多突破,至于我们搞光源的说到底就是更高的能量转化率,更多的EUV功率,更高的稳定性。实现这些从基本原理上来说一两句话就能说清楚,难就难在细节上了。每个子系统都有优化。平台一旦搭建起来,在上面迭代终归不是特别难的事情。至于对芯片产业的影响,其实归根到底还是在制程和良品率上。功率和稳定性提高,良品率就能提高,相应的成本也就能降低,如此而已。至于革命性的突破那个是没有的。更多的就不能多说了。