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俄罗斯工业和贸易部表示，俄罗斯在今年年底前将限制氖气等惰性气体的出口，以回应欧盟此前针对该国半导体出口方面的限制。氖气、氪气、氙气等惰性气体是芯片制造过程中不可或缺的原材料。据相关估计，俄惰性气体供应量占全球供应总量的30%。在俄乌冲突爆发后，全球氖气、氙气价格曾一度出现跳涨。 光刻气大部分为稀有气体及氟之间的混合气，在高压受激发后形成等离子体，在这个过程中，由于电子跃迁，会产生固定波长的光线。激发出来的光线经过聚合，滤波等过程就会产生光刻机的光源。在半导体制程当中，氖气可用于KrF、ArF 镭射曝光，在ArF准分子激光器中使用的氩/氟/氖气体中，氖气占激光气体混合物的96%以上。氪气同样用于光刻制程；氙气用于半导体刻蚀制程。
