回复通工机械小虫虫：超精密抛光的不同技术种类，1、抛光工具变形可控的复杂曲面加工技术 2、抛光工具的“研抛模”柔度变化可控的复杂曲面加工技术 3、复杂曲面的离子束与等离子体加工 4、复杂曲面的复合或组合加工
通工机械小虫虫
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现代电子工业，超精密抛光是灵魂 超精密抛光技术在现代电子工业中所要完成的使命，不仅仅是平坦化不同的材料，而且要平坦化多层材料，使得几毫米见方的硅片通过这种‘全局平坦化’形成上万至百万晶体管组成的超大规模集成电路。例如人类发明的计算机从几十吨变身为现在的几百克，没有超精密抛光不行，它是技术灵魂。 以晶片制造为例，抛光是整个工艺的最后环，目的是改善晶片加工前一道工艺所留下的微小缺陷以获得最佳的平行度。 今天的光电子信息产业水平，对作为光电子基片材料的蓝宝石、单晶硅等材料的平行度要求越来越精密，已经达到了纳米级。这就意味着，抛光工艺也已随之进入纳米级的超精密程度。 超精密抛光工艺在现代制造业中有多重要，其应用的领域能够直接说明问题：集成电路制造、医疗器械、汽车配件、数码配件、精密模具、航空航天。
