玩转LED
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近日，德国柏林Ferdinand-Braun-Institut(FBH)宣布已成功生产出第一批可在紫外光谱范围(UVB)内发射的微型LED原型。 在 FBH 目前的芯片上，一个阵列的所有UV micro-LED都是同时工作的，在下一步计划中，LED像素将通过控制芯片单独寻址。由于制造的UV micro-LED的尺寸很小，为了生产，FBH研究人员使用金属有机气相外延法沉积在紫外光谱范围内发射的半导体层结构，然后使用光刻工艺以及等离子体蚀刻和沉积工艺进行结构化，能在1.5到50µm之间、间距在2到60µm之间对UV micro-LED对调节精度、制造精度和材料完美提出了最高要求。 目前，FBH已经在着手将这项技术转移到UVC-LED上，包括发射波长极短的230nm左右的长距离UVC-LED。FBH正在寻找有意在其应用中使用UV micro-LED的合作伙伴，旨在共同推进该技术并充分挖掘设备的潜力。
