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随着集成电路线路从7纳米向更细发展,带来工艺成品率越来越低,晶体管越来越小。布线联接晶体管是用光刻机丶刻蚀机,扩渗机,需在晶园上更密沉积铜元素导线,易发生干扰丶漏电。于是,中国主流是在晶园上≥14纳米布线。然后,向立体发展,提高布线宽度。每层加工完晶圆经打磨抛光丶清洗丶烘干。根据需要N层,之间波峰锡焊,最后装上引头并封装。同样,可以达到使用要求,成品率高,反而成本低。现在,华为5G芯片就是用两层叠加设计丶制造的集成电路,打破美国的“卡脖子”。
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