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3D光刻机会是EUV光刻机的最大克星吗?

 微观人

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在光刻机市场上,最近十多年来荷兰ASML公司一家独大,EUV光刻机中更是独一份,10亿一台的价格都供不应求,而传统的光刻机大厂日本佳能、尼康已经被甩开,不过尼康已经制定策略,重点放在3D光刻机上,明年将推出支持3D闪存、图像传感器的沉浸式ArF光刻机,这会是未来销量翻倍的杀手锏。

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