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日本尼康研发3D光刻机,ASML一家独大局面恐将破

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在光刻机市场上,最近十多年来ASML公司一直是一家独大,EUV光刻机更是独一份,而传统的光刻机大厂日本佳能、尼康已经被甩开。不过,尼康已经制定策略,将重点放在3D光刻机领域。据报道,日本尼康公司提出新的目标,希望2025财年期间其光刻机销量能提升到2019-2021财年的2倍以上。

尼康明年还将推出支持3D闪存、图像传感器的沉浸式ArF(氟化氩)光刻机,这也是未来销量翻倍的杀手锏。据了解,2020年全球光刻机销量 413 台,同比增长 15%,其中ASML销售258台占比 62%,佳能销售122台占比30%,尼康销售33台占比8%。

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