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据报道，由于今年半导体形势的变化，先进制程的产能利用率开始下滑，而且评估之后下滑时间会持续一段周期，因此台积电计划从年底开始，将部分EUV设备关机，以节省设备巨大的耗电支出。台积电目前拥有大约80台EUV光刻机，主要用于7nm、5nm及以下的先进工艺，今年9月份还会量产3nm工艺，都需要EUV光刻机。
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