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压电微机械超声换能器,(Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer,PMUT)是一类通过压电材料的正逆压电效应使压电薄膜振动,从而发射或者接收超声波信号的MEMS器件。当PMUT用于发射超声波时,它是一个执行器;当PMUT用于接收超声波时,它是一个传感器。 PMUT的一个特别之处就在于它既可以做执行器(发射声波),又可以做传感器(接收声波)。这意味着在商业化产品中,完全相同的PMUT器件可以承担两个相对立的功能,例如汽车的超声波倒车雷达,无论是一个PMUT自发自收超声波,还是两个完全相同的PMUT一发一收超声波,都使用的是完全规格参数完全相同的器件。这使得PMUT器件从设计到生产、封装、测试、系统化的成本得到极大的降低。除此之外,MEMS标准工艺批量化生产和晶圆级封装的大规模应用,都使得PMUT非常适合商业化应用。