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日前，苏州镓敏光电（GaNo Optoelectronics）宣称发布了首款商业化的SiC EUV（波长为124-10nm）极紫外光电二极管。 据介绍，可见光盲EUV光电二极管可在光伏或光电模式下工作，具备高EUV光子探测效率、高响应速度及高稳定性等特点。2021年10月，镓敏光电开始SiC EUV光电二极管的试生产及不同客户的验证工作，随后便开始向全球主要客户出货SiC EUV光电二极管及组件。
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