中国领先的工业平台

返回贤集网 返回微头条
贤集网技术微头条APP获取

ASML明年将交付首台High-NA EUV光刻机,更耗电了!

 微观人

下载贤集网APP入驻自媒体

据外媒Bits & Chips报道,ASML首席技术官Martin van den Brink日前受访时表示,目前公司正有序推行其路线图,在EUV之后是High-NA EUV技术。ASML正在准备向客户交付首台High-NA EUV光刻机,大概会在明年某个时间点完成。

与现有的EUV光刻机相比,High-NA EUV光刻机将更为耗电,从1.5兆瓦增加到2兆瓦。主要原因是因为光源,High-NA使用了相同的光源需要额外0.5兆瓦,ASML还使用水冷铜线为其供电。

最新回复
发布回复
回复微观人:光刻机是高投入高回报但也是高研发。挣的利润都投入研发了。半导体制造不可能一直用光刻机,材料、架构和制造工艺都会不断推陈出新,做好基础研究,一步一个脚印,总有一天中国会造出属于自己的EUV光刻机。

为您推荐

热门交流