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有机电致发光器件(Organic light emitting diode,OLED)具有轻薄、便于携带、自发光、能耗低、亮度更大、柔性显示等特点,可以增加显示产品的附加值。然而,OLED器件中的有机材料对空气中的水汽和氧气十分敏感,若器件在无封装保护的情况下长期在空气中存放,将会严重影响OLED的工作性能和寿命,所以对器件进行可靠的封装是一种有效手段。目前,原子层沉积(Atomic layer deposition,ALD)的薄膜因拥有良好的机械柔性、超高的阻隔性能和光学透过率而被科学界和产业界广泛关注。 近日,长春电子科技学院姜文龙教授团队与吉林大学段羽教授团队合作在《发光学报》发表了题为“利用原子层沉积技术实现有机电致发光器件的薄膜封装”的综述文章。 重点探究了前驱体原料、掺杂比率、沉积温度、ALD脉冲时间和吹扫时间对薄膜沉积性能的影响以及薄膜厚度和封装性能之间的关系;分析了ALD制备薄膜的水汽透过率;比较了ALD在单层、有机-无机叠层薄膜封装(Thin-film encapsulation,TFE)制备的技术优势;展望了利用ALD技术实现有机电致发光器件薄膜封装的产业化前景。