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惯性测量单元一直都是MEMS领域中极为重要的一类产品，不管是在消费电子、工业自动化还是汽车自动驾驶领域都有着广泛的应用。将加速度传感器、陀螺仪等MEMS器件（有些还会集成磁力计和气压计）集成在一起的IMU沿着三个正交轴测量旋转角速度和线性加速度。 近年来，汽车的智能化发展推动了惯性导航系统在内的相关器件的发展，根据Yole Development数据预测，IMU市场规模将在2022年超过9亿美元。
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