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ASML近日在投资者日会议上披露，公司计划在2025年到2026年提高产能，年产90台EUV（极紫外光）光刻机和600台DUV（深紫外光）光刻机，同时，在2027年到2028年，增产20个系统High-NA EUV光刻机。
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