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揭秘美光1β内存背后的“秘密”

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全球DRAM内存芯片主要垄断在三星、SK海力士及美光手里,三家的份额高达95%,同时技术也是领先的,美光前不久更是抢先宣布量产1β内存芯片,这是当前最先进的内存芯片。

1β到底相当于多少nm?美光日前在日本举行了一次沟通会,介绍了1β内存的一些进展,指出它的工艺水平相当于13nm,而且美光依然没有使用EUV工艺,避免了昂贵的光刻机。

不使用EUV光刻,美光在1β内存上使用的主要是第二代HKMG工艺、ArF浸液多重光刻等工艺,实现了35%的存储密度提升,同时省电15%。

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