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随着纳米科学、材料科学、微电子科学等领域的快速发展,对精细加工与微观分析能力提出越来越高的需求,推动高端扫描电子显微镜在微电子设计与先进制造领域的广泛应用,包括透射电镜(TEM)样品制备、材料微观截面截取与观察、样品微观刻蚀与沉积以及材料三维成像分析等。在市场需求的蓬勃崛起之时,对于显微设备的技术指标、应用性能等也都提出更高的要求。
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