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大族激光:扩散炉、退火炉等设备已经中标行业头部客户批量订单

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大族激光12月7日在互动平台表示,应用于第三代半导体的SiC晶锭激光切片机任在客户处做量产验证,公司自主研发的MicroLED巨量转移设备现已实现销售。PECVD、扩散炉、退火炉等设备已经中标行业头部客户批量订单。

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