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12月23日，微导纳米登陆上交所科创板，截至上午收盘上涨15.2%。本次上市，公司拟募集资金10亿元，投向基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级、基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级、集成电路高端装备产业化应用中心三个项目并补充流动资金。 招股书显示，微导纳米以原子层沉积（ALD）技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。2019年度至2021年度，公司分别实现营业收入2.16亿元、3.13亿元、4.28亿元，年均复合增长率40.81%。 研发方面，2019年-2021年微导纳米研发费用分别为3109.05万元、5373.47万元、9704万元，呈持续上升趋势。截至目前，公司已取得95项国家授权专利，其中发明专利13项、实用新型专利73项、外观设计专利9项，并拥有软件著作权19项。
