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成果多多!南科大在激光超分辨率纳米制造领域取得系列进展

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近日,南方科技大学机械与能源工程系助理教授徐少林团队围绕“激光超分辨率纳米制造”主题,在Nature Communications, Advanced Optical Materials, Laser & Photonics Reviews, Nano Letters, ACS Applied Materials & Inters等激光微纳米制造领域高水平期刊上发表系列论文,内容涉及激光亚波长图案化纳米制造、激光诱导周期性纳米光栅制造、线形脉冲激光跨大尺度微纳复合制造、耐久性纳米锥的激光掺杂增强等离子体刻蚀制造等。

在激光亚波长图案化纳米制造方面,大面积无拼接超衍射极限图案化纳米制造在半导体及光学微纳器件等领域具有至关重要的作用,开发低成本、高效率制备技术及配套设备对于上述领域的高质量发展具有极其重要的意义。

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