电子放大镜
下载贤集网APP入驻自媒体
近日，奥趋光电宣称实现了氮化铝（AlN）晶体从2英寸到3英寸的迭代扩径生长，制备出了直径达76 mm的铝极性 AlN 单晶锭及3英寸衬底样片。 据了解，3英寸AlN单晶及其衬底样片的成功制备依托于奥趋光电第三代全自动氮化铝单晶生长炉，在50-90 kPa的高纯度氮气气氛（99.999%）下通过同质外延物理气相传输法（PVT）迭代生长技术实现。 从2英寸至3英寸的扩径过程中，通过生长室的优化设计及不同工艺段的温度分布、生长前沿的径向温度梯度、生长室内的物质传输及过饱和度等精确控制，最终实现了无寄生形核、无裂纹且直径为76 mm的AlN单晶锭，平均生长速度为100-300 μm/h，晶体的初期扩张角较大达到45-65°，并随后逐渐下降到10-20°。
