电子芯技术
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一台EUV光刻机有三项核心技术，分别是顶级的光源(激光系统)、高精度的镜头(物镜系统)、精密仪器制造技术(工作台)。 激光系统就是产生极紫外线的系统，这项技术来源于美国企业Cymer，2012年被ASML收购了。 高精度的镜头，也就是将激光进行收集成束，以及物镜系统，这一块的技术来源德国的蔡司，蔡司拿出了全世界最平表现的元件，那就是分布式布拉格反射器。 第三项核心技术，也就是精密仪器制造技术，也来自于德国，甚至连核心一中的整体打包方案都是德国TRUMPF公司提供的。
