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近日，国立台湾大学（National Taiwan University）和香港中文大学（The Chinese University of Hong Kong）联合开发了一种基于气溶胶沉积的单轴压电MEMS加速度计。它采用一种悬臂梁结构，具有端部质量块和锆钛酸铅（PZT）传感层。为了确定该设计是否适用于结构健康监测，通过仿真获得了工作带宽和噪声水平。研究人员首次在制备过程中使用气溶胶沉积法沉积PZT厚膜，以实现高灵敏度。该单轴压电MEMS加速度计的电荷灵敏度、固有频率、工作带宽和噪声等效加速度分别为22.74 pC/g、867.4 Hz、10-200 Hz（±5%偏差范围内）和5.6 μg/√Hz（@ 20 Hz）。 在本项研究中，单轴加速计采用一种悬臂梁结构，有四个功能层：顶部电极、压电传感层、底部电极和检测质量块。与完全夹紧的中心对称结构相比，由于梁刚度较低，悬臂梁在相同尺寸下具有更高的灵敏度。此外，基于不锈钢的底部电极的设计简化了制造过程，避免了另一层电极的沉积。
