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极紫外(EUV)光实验通常只能在昂贵的大型仪器设备中进行。近日，德国耶拿科学家Robert Klas开发了一种紧凑的EUV激光模块，可以用来产生这种特殊的光。这一突破性的研究在半导体制造业和显微镜等相关设备的研发方面潜力巨大。 此前，研究者多采用同步加速器来获得EUV光，该研究设备具有整个房子大小的体积。而基于此方法，研究者在实验室工作台大小的设备中就能产生EUV光。 在研究过程中，Klas将高功率超短脉冲光纤激光器产生的激光，通过高次谐波响应转换成EUV光，并将高功率激光集中在一个惰性气体中。在此过程中，电子在几百阿秒内加速。
