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前不久,国内某光伏设备头部供应商解决了一项关键卡脖子环节——半导体设备专用串级温控器,产品成功通过国内光伏龙头企业的产线验证,不仅实现国产替代,而且在光伏良率的提升上优于国外品牌产品,在国家科技成果鉴定中被行业专家评定为国际先进。 据悉,该串级温控器由在温控领域深耕超过30年的国内厂商厦门宇电自动化科技有限公司(以下简称:宇电)自主研制。此次半导体设备专用国产串级温控器的成功推出,填补了过去多年在这一领域的国内空白。随着在光伏制造产线的成功导入,该产品接下来将向微电子等更广泛的半导体制造领域扩展,推进上游半导体设备的仪表国产替代。 而与普通PID温控器不同,半导体生产设备中许多环节,比如扩散、氧化、刻蚀、PECVD等过程使用的串级温控器需要高端复杂调节算法,以此来应对半导体设备中温度控制滞后较大且扰动多等问题。作为温控器应用的高端市场,半导体制造领域对温控器的产品精度、可靠性、抗干扰性和稳定性要求均非常苛刻。