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针对目前日趋多样化的需求,Moorfield Nanotechnology公司全新推出了台式高精度溅射与热蒸发系统——nanoPVD ST15A。该系统可以集成金属/绝缘体溅射、金属热蒸发、有机物蒸发功能,在同一台设备中可以实现多种制备手段的组合,将薄膜制备带入了新的高度。 有别于传统台式系统仅用于制备电极等简单用途,nanoPVD ST15A系统是真正的学术研究级设备,可以制备多种高质量的薄膜样品。体统通过7英寸触摸屏控制,自动化程度高,各种制备方式可以自由切换。用户可以通过灵活的制备手段在在同一台设备中制备不同的薄膜或者是复合薄膜。