回复彩虹科技:AMAT期待通过该技术提高EUV工艺的生产效率。他还解释说,正在与三星电子、SK海力士进行合作。
下载贤集网APP入驻自媒体
据韩国和台湾多家媒体报道,韩国光刻胶制造商Dongjin Semichem计划在2023年下半年开发用于High NA(NA=0.55)EUV曝光的光刻胶。 据他们透露,ASML计划在2025年开始提供High NA EUV曝光设备的量产型号,用于2纳米以下半导体的量产,而Dongjin Semichem将在2025年上半年应对这一趋势。