回复电子芯技术：中电科电子装备集团有限公司上市没?
电子芯技术
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中国电科旗下电科装备已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。 据悉，离子注入机是芯片制造中的关键装备，当前，28纳米是芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制程。电科装备连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术，形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局，实现了28纳米工艺制程全覆盖。 如今，电科装备的百台设备广泛应用于国内各大集成电路先进产线，累计流片2000万片。
