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1970年美国IBM实验室首次提出超晶格的概念,超晶格,也称为耦合的多量子阱,是两种不同成分以纳米薄层交替生长形成的多层膜材料。超晶格材料按异质结类型分为一类、二类和三类超晶格。其中二类超晶格(T2SL)特殊的能带结构使其具有禁带宽度可调节、波长覆盖范围大(3~30um)、大尺寸晶体均匀性好、工作温度高、成品率较高、成本较低等优点。 二类超晶格技术从70年代提出至今约40年的时间里仍在持续快速发展。二类超晶格材料可以克服大面阵啼铜汞材料技术上存在的不均匀性及稳定性问题,在国际上被认为是与啼铜汞并存的三代红外探测器技术,市场潜力巨大。 滨松最新推出了二类超晶格T2SL探测器:宽波长响应范围1~14.5 um(覆盖长波红外);环保型红外探测器,完全符合RoHS标准;高速响应(上升时间150 ns);高灵敏度D*=1.6*10m*Hz1/2/W (13 um以后D*优于MCT探测器)。