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高端晶圆激光切割设备成功实现国产化

 摩尔后时代

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据“中国光谷”微信公众号消息,近期,华工科技制造出我国首台核心部件 100% 国产化的高端晶圆激光切割设备,在半导体激光设备领域攻克多项中国第一。

据华工激光半导体产品总监黄伟介绍,晶圆机械切割的热影响和崩边宽度约 20 微米,传统激光在 10 微米左右,而经过一年努力,华工科技的半导体晶圆切割技术成功实现升级,热影响降为 0,崩边尺寸降至 5 微米以内,切割线宽可做到 10 微米以内。

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