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据国产半导体设备厂商华海清科股份有限公司（简称“华海清科”）微信公众号9月4日消息，该公司首台12英寸单片终端清洗机HSC-F3400机台已经于9月1日出机发往国内大硅片龙头企业。虽然华海清科未直接点名，但猜测可能是国内12吋半导体硅片大厂沪硅产业。 据介绍，HSC-F3400机型是华海清科面向大硅片终端清洗市场特殊需求研发的一款高性能设备，其卓越的颗粒与金属污染控制系统可稳定实现超洁净清洗功能，新颖的清洗及干燥模块为晶圆正面及背面的高效率清洗提供技术保障。此外，机台搭载高性能卡盘夹持技术，确保晶圆稳定高速运转，在产能优势明显的同时，具备安全性高、可靠性强的特点，以较高使用寿命满足低成本运维需求。
